MEMSVOC氣體傳感器根據MEMS工藝制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料,對VOC氣體的靈敏度高。MEMSVOC氣體傳感器是主要用于在空氣環(huán)境中檢測VOC濃度范圍在0-100ppm的氣體傳感器。該VOC傳感器使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導率的變化轉換為與VOC氣體濃度相對應的輸出信號。具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時(shí)間短等特點(diǎn)。
1、微型化設計
產(chǎn)品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時(shí)間短,表面體積比高可以提高表面
傳感器的敏感程度。
2、高度集成
可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執行器集成于一體,形成微傳感器陣列、微執行器陣列。
3、高/低溫工作適應性好
產(chǎn)品功耗低,工作時(shí)基本沒(méi)有熱輻射,不影響周邊溫度濕度檢測。
檢測氣體:VOC
VOC測量范圍:0-100ppm
回路電壓Vc:≤24V DC
加熱電壓VH:2.8V士0.1V AVorDC
負載電阻RL:可調
加熱電阻RH:80?土20?(室溫)
加熱功耗PH:≤80mW
敏感體電阻Rs:1K?~30K?
靈敏度S:RO/RS≥2
濃度斜率a:≤0.9
溫度:20°C士2°C
濕度:55%RH土5%RH
標準測試電路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V士0.1V