數字量MEMS氣體傳感器是通過(guò)數字信號來(lái)對氣體濃度進(jìn)行探測的氣體檢測儀器,該儀器利用MEMS技術(shù)在SI基襯底上制作微熱板,氣敏材料采用的是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時(shí),數字量MEMS氣體傳感器的電導率發(fā)生變化,該氣體的濃度越高,氣體傳感器的電導率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。廣泛適用于各類(lèi)氣體檢測儀的生產(chǎn)安裝,以及各類(lèi)氣體檢測的場(chǎng)合和設備上。
1、微型化設計
產(chǎn)品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時(shí)間短,表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。
2、高度集成
可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執行器集成于一體,形成微傳感器陣列、微執行器陣列。
3、高/低溫工作適應性好
產(chǎn)品功耗低,工作時(shí)基本沒(méi)有熱輻射,不影響周邊溫度濕度檢測。
工作電壓(VCC):3.3V
工作電流:≤25mA
最大加熱功率:30mW
加熱電壓(VDD):1.4V
輸出方式:I2C從機模式
默認地址:0x54
I2C速率:10- 100kbps
上拉電阻:需外置上拉電阻
預熱時(shí)間:30s
響應時(shí)間:≤60S
典型精度:20%讀數