MEMS氨氣氣體傳感器

產(chǎn)品介紹：

MEMS氨氣氣體傳感器是用來(lái)監測空氣環(huán)境中氨氣氣體濃度在0-300ppm的MEMS氣體傳感器。MEMS氨氣氣體傳感器采用了在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料。該氨氣傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板。具有尺寸小、功耗低、響應速度快、適應性好、使用壽命長(cháng)久等特點(diǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、微型化設計

產(chǎn)品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時(shí)間短，表面體積比高可以提高表面
傳感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執行器陣列。

3、高/低溫工作適應性好

產(chǎn)品功耗低，工作時(shí)基本沒(méi)有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。

產(chǎn)品參數：

回路電壓Vc：≤24V DC

加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC

負載電阻RL：可調

加熱電阻RH：80?土20?(室溫)

加熱功耗PH：≤80mW

敏感體電阻Rs：1K?~30K?

靈敏度S：RO/RS≥2

濃度斜率a：≤0.9

溫度：20°C士2°C

濕度：55%RH土5%RH

標準測試電路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V