MEMS VOC氣體傳感器根據MEMS工藝制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料,對VOC氣體的靈敏度高。當氣體傳感器所處存在VOC氣體環(huán)境中時(shí),傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發(fā)生改變。VOC氣體的濃度越高,MEMS氣體傳感器的電導率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
乙醇(C2H5OH): 0– 500ppm
氫氣(H2):0-5000ppm
VOC:0-100ppm
可燃氣體:0-10000ppm
氨氣:0-300ppm
一氧化碳:0-500ppm
低功耗
高靈敏度
結構堅固
MEMS工藝
簡(jiǎn)單的驅動(dòng)電路
快速的響應恢復特性
適用于室內空氣質(zhì)量監測 、手機電腦等消費類(lèi)子產(chǎn)品應用檢測空氣質(zhì)量,也適用于氣體檢測儀、室內煙霧報警等。
1.預熱時(shí)間
氣體傳感器需要時(shí)間達到內部的化學(xué)平衡所以需要一定的預熱時(shí)間。一般來(lái)說(shuō),傳感器在比較高的溫度下會(huì )更快的達到平衡,所以可以在最初開(kāi)機的幾十秒,可以給傳感器更高的電壓來(lái)預熱。如C2H50H傳感器一般工作在50mW,可以在最初30秒內利用80mW來(lái)加熱??偟膩?lái)講,預熱時(shí)間越長(cháng)則傳感器精度越好。
2.傳感器標定
對于絕對濃度測量,很多因素會(huì )影響到傳感器的精度如傳感器之間的基準電阻差異,靈敏度差異,溫度,濕度,干擾氣體,老化時(shí)間等,因此需要定期標定。對于相對測量則不需要標定。因為傳感器的特性曲線(xiàn)是非線(xiàn)性的,所以推薦在全量程內進(jìn)行多點(diǎn)標定并考慮溫度和濕度的影響。當標定數據得到后,可以利用多項式或線(xiàn)性擬合來(lái)對數據進(jìn)行整理。
3. 傳感器的長(cháng)期穩定性
隨著(zhù)工作時(shí)間增加,加熱電路電阻會(huì )增加,可以通過(guò)一定的電路來(lái)解決。試驗數據表明在 40mW 供電條件下,6000 小時(shí)后電阻沒(méi)有變化;80mW 供電條件下,加熱電阻增加了 30%。在加熱電路上串聯(lián)一個(gè)電阻,該電阻值對功率的影響在 2%以下,通過(guò)該方法可以解決問(wèn)題。當然也可以使用等功率電路來(lái)剔除影響。
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