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MEMS丙烷氣體傳感器是精訊暢通為了利用MEMS工藝來(lái)檢測丙烷氣體濃度而研發(fā)的丙烷傳感器。MEMS丙烷氣體傳感器采用MEMS工藝制作SI基襯底上的制熱版，采用金屬氧化物半導體材料來(lái)作為傳感器的氣敏材料。該氣體傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時(shí)間短等特點(diǎn)，表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。
檢測氣體：丙烷
丙烷測量范圍：0-10000ppm
丙烷測量靈敏度S：RO/RS≥2
丙烷濃度斜率a：≤0.9
回路電壓Vc：≤24V DC
加熱電壓VH：2.8士0.1V AVorDC
負載電阻RL：可調
加熱電阻RH：80?土20?(室溫)
加熱功耗PH：≤80mW
敏感體電阻Rs：1K?~30K?
溫度：20°C士2°C
濕度：55%RH土5%RH
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?公司地址： 山東省威海市高新區火炬路221號
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